公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I548039專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

半導體裝置的製作方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/09/01

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 57,800

4.其他應敘明事項:

本發明提供一種半導體裝置的製作方法，僅需增加一道光罩，能夠提供高壓元件

較大的側壁子寬度，對記憶體區域及低電壓區域內的元件提供較小的側壁子寬度

。本發明主要利用一犧牲保護層，僅覆蓋住高電壓區域的氮化矽側壁子，選擇性

的剝除低電壓區域內的氮化矽側壁子，再去除該犧牲保護層。