公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I547772專利

2016-09-29 公司:力晶創新投資控股
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

光阻回收系統及其方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/09/01

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 59,200

4.其他應敘明事項:

一種光阻回收系統,包括:儲存瓶,用以存放光阻液,且儲存瓶具有瓶蓋,在瓶

蓋上設有第一接頭、第二接頭與第三接頭;加壓裝置,與第一接頭連接;排出管

路,與瓶蓋的第二接頭連接;第一切換裝置,設置於排出管路上;第二切換裝置

,設置於儲存瓶與第一切換裝置之間的排出管路上;回收管路,連接第三接頭以

及在第一切換裝置與第二切換裝置之間的排出管路;以及第三切換裝置,設置於

回收管路上。

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