公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I571701專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

偵測微影熱點的方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/02/21

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 67,560

4.其他應敘明事項:

本發明提出了一種偵測微影熱點的方法，其步驟包含：接收一佈局圖形資料，對

該佈局圖形資料進行空間影像模擬以析取出多種空間影像強度指數，根據一或多

種該些空間影像強度指數的組合產生出多種空間影像偵測子，再根據該些空間影

像偵測子的數值來判定出所對應的微影熱點位置與種類。