公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I585512專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

提升圖案精密度的方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/06/01

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 52,100

4.其他應敘明事項:

本發明的提升圖案精密度的方法，包括下列步驟。提供目標圖案。將目標圖案分

解成多個分割圖案。分別由多個分割圖案產生多個光阻強度分布。處理多個分割

圖案的多個光阻強度分布，得到光阻強度分布圖像。根據光阻強度分布圖像定義

高感光區域以及強度不足區域。修正所述光阻強度分布圖像的強度不足區域。根

據修正後的光阻強度分布圖像得到結果圖案。