公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I581072專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

曝光裝置與曝光方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/05/01

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本: NT$ 47,600

4.其他應敘明事項:

一種曝光裝置，包括晶圓承載台與光罩承載台。光罩承載台位於晶圓承載台上方，

且具有多個光罩承載區。