公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I602650專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

化學機械研磨之固定環

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/10/21

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 54,250

4.其他應敘明事項:

本發明係關於一種用於化學機械研磨之固定環，其取代修整器，該固定環包含一

環形件，其具有一底表面，以與一研磨墊接觸，該底表面包含至少一通道以及至

少一凸紋區域，該至少一凸紋區域位於相鄰該至少一通道之間。該環形件更包含

複數個磨料微粒，配置於該至少一凸紋區域上。