公告本公司取得美國專利局核發US 9864363專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

製程控制方法與製程控制系統

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/01/09

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 210,926

4.其他應敘明事項:

一種製程控制方法，適用於對批次的多個晶圓進行沉積製程，包括：根據機

台的歷史資訊與批次的產品資訊來決定批次的晶圓的擺放位置；根據批次的

晶圓的擺放位置與機台的歷史資訊來求出各擺放位置的目標值；根據機台的

歷史資訊、批次的產品資訊以及各擺放位置的目標值來求出製程參數；以及

根據批次的晶圓的擺放位置與製程參數進行沉積製程。