公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 3159745專

公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 3159745專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

自動監控膜厚均勻性的方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/11/23

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 62,850

4.其他應敘明事項:

一種自動監控膜厚均勻性的方法。取得多個晶圓之薄膜的膜厚資料，其中各晶圓

的膜厚資料包括在多個量測區域上的多個厚度值，並且同一個晶圓的厚度值設定

為一膜厚向量。基於各量測區域所獲得的上述厚度值獲得群均值矩陣。依據群均

值矩陣與上述膜厚向量，獲得群共變異矩陣。基於量測區域之間的偏離關係，獲

得變換矩陣。利用變換矩陣、群均值矩陣以及群共變異矩陣，獲得偏差範圍。基

於偏差範圍來監控各晶圓之薄膜的膜厚均勻性。