公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 3125727專

公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 3125727專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

圖案化方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/10/26

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 65,876

4.其他應敘明事項:

一種圖案化方法。提供材料層。於材料層上形成依序包括第一罩幕層與第一光阻

層的多個罩幕結構。於材料層上共形地形成覆蓋罩幕結構的第二罩幕層。於罩幕

結構間形成第一犧牲層。移除部份第二罩幕層而暴露第一光阻層，以於罩幕結構

間形成第一U型罩幕層。移除第一光阻層與第一犧牲層。於材料層上共形地形成具

有第一表面與低於第一表面的第二表面的第三罩幕層。於第三罩幕層的第二表面上

形成第二犧牲層。移除部份第三罩幕層而暴露第一U型罩幕層的突出部，以形成第

二U型罩幕層。以第二U型罩幕層的突出部為罩幕，對材料層圖案化。